应用领域
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l测量技术
l测试程序和质量保证
l光子学
l光纤定位
PICMA压电执行器带来出色的使用寿命
PICMA压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可以保护它们免受漏电流增加导致的潮湿和故障的影响。PICMA 执行器的使用寿命比传统聚合物绝缘执行器长十倍。1000 亿次循环无一次故障已被证明。
亚纳米分辨率，采用电容式传感器
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
零间隙弯曲导轨带来高导向精度
弯曲导轨无需维护、摩擦和磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。
通过直接位置测量实现最大精度
运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的任何影响。这可实现最佳的可重复性、出色的稳定性以及刚性、快速响应的控制。
PICMA直接驱动带来更高的刚度和动态性
采用PICMA直接驱动的压电纳米定位器没有机械平移。这允许快速响应速度以及压电驱动范围内尽可能高的刚度和动态。
运动 | P-753.11C | P-753.1 | P-753.21C | P-753.2 | P-753.31C | P-753.3CD | 公差 |
活动轴 | X | X | X | X | X | X | |
X 轴行程范围 | 15 微米 | 15 微米 | 30 微米 | 30 微米 | 38 微米 | 38 微米 | |
线性误差，闭环 | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | 0.03 % | typ. |
角度误差(俯仰) | ± 5 μrad | ± 5 μrad | ± 7 μrad | ± 7 μrad | ± 10 μrad | ± 10 μrad | typ. |
角度误差(偏摆) | ± 5 μrad | ± 5 μrad | ± 7 μrad | ± 7 μrad | ± 10 μrad | ± 10 μrad | typ. |
定位 | P-753.11C | P-753.1 | P-753.21C | P-753.2 | P-753.31C | P-753.3CD | 公差 |
集成传感器 | 电容式直接位置测量 | ||||||
X 轴系统分辨率 | 0.1 纳米 | 0.1 纳米 | 0.2 纳米 | 0.2 纳米 | 0.25 纳米 | 0.25 纳米 | |
驱动器属性 | P-753.11C | P-753.1 | P-753.21C | P-753.2 | P-753.31C | P-753.3CD | 公差 |
驱动器类型 | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | |
X 轴中的电容 | 1.5 μF | 1.5 μF | 3.1 μF | 3.1 μF | 4.6 μF | 4.6 μF | ±20 % |
机械性能 | P-753.11C | P-753.1 | P-753.21C | P-753.2 | P-753.31C | P-753.3CD | 公差 |
X 轴刚度 | 45 N/µm | 45 N/µm | 24 N/µm | 24 N/µm | 16 N/µm | 16 N/µm | ±20 % |
谐振频率，空载 | 5600赫兹 | 5600赫兹 | 3700赫兹 | 3700赫兹 | 2900赫兹 | 2900赫兹 | ±20 % |
谐振频率,负载200g | 2500赫兹 | 2500赫兹 | 1700赫兹 | 1700赫兹 | 1400赫兹 | 1400赫兹 | ±20 % |
允许的推力（X 轴） | 100 牛 | 100 牛 | 100 牛 | 100 牛 | 100 牛 | 100 牛 | 最大值 |
Z 轴允许的推力 | 80 牛 | 80 牛 | 90 牛 | 90 牛 | 100 牛 | 100 牛 | 最大值 |
允许的拉力（X 轴） | 20 牛 | 20 牛 | 20 牛 | 20 牛 | 20 牛 | 20 牛 | 最大值 |
导向 | 带杠杆放大的弯曲导板 | ||||||
总重量 | 160 克 | 160 克 | 215 克 | 215 克 | 260 克 | 260 克 | ±5 % |
材料 | 钢 | 钢 | 钢 | 钢 | 钢 | 钢 | |
杂项 | P-753.11C | P-753.1 | P-753.21C | P-753.2 | P-753.31C | P-753.3CD | 公差 |
工作温度范围 | -20 至 80 °C | ||||||
连接器 | LEMO LVPZT | D-sub 7W2 (m) | LEMO LVPZT | D-sub 7W2 (m) | LEMO LVPZT | D-sub 7W2 (m) | |
传感器连接器 | LEMO | — | LEMO | — | LEMO | — | |
电缆长度 | 1.5 米 | 1.5 米 | 1.5 米 | 1.5 米 | 1.5 米 | 1.5 米 | +50/-0 毫米 |
推荐的控制器/驱动 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-625、E-709.1C1L、E-754 | |
系统的分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制，因为 PI 压电纳米定位系统没有摩擦。
在 PI，技术数据规定为 22 ±3 °C。 除非另有说明，否则这些值适用于未加载的条件。某些属性是相互依赖的。名称 “typ.” 表示属性的统计平均值;它并不表示所供应的每件产品的保证价值。在产品的最终检验期间，仅分析选定的属性，而不是所有属性。请注意，某些产品特性可能会随着运行时间的增加而恶化。
3D图纸请联系18384107989
