5轴位移台系统

交流无刷双驱龙门系统 更优化的设计,更合理的结构 可根据客户需求配置不同行程和负载的Z轴及旋转轴 客户灵活选择龙门系统,相机,气管,激光器和传感器等设备线缆管理 双驱轴可选标准平台或者大理石定制 无刷无齿槽伺服电机,速度稳定性优越 AB 轴一体化高刚性设计
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概述

 

MBL-5系列设计用于在最大化需要龙门运动的应用。该系列非常适合3D打印、激光技工、对准、检测和工业自动化应用。

MBL-5系列采用预加载的线性机械轴承,提供最佳刚性和精度。可选配不锈钢导轨。

门式轴包含双线性电机和双线性编码器。无铁线性电机提供平滑运动,无齿轮或吸引力。线性电机和线性编码器为非接触式器件,因此不会有间隙、磨损或维护问题。

MBL-5系列采用高性能控制器和驱动模块,提供卓越的伺服性能、先进的控制算法以提升动态性能和误差补偿,以及丰富的软件开发工具套件。

 

配置选项

 

底座由花岗岩或铝制成

可调工件高度

减振系统

额外阻力链

线性电机的性能

线性电机的液冷

 

应用领域

5轴位移台系统系列是一款直驱五轴轴精密运动台,带旋转功能用于晶圆切割、激光加工、测试测量、电子元件组装及检验等领域



X轴

Y轴

Z轴

B轴

A轴

行程

200mm

300mm

200mm

300mm

300mm

400mm

360度连续旋转

±90°

工作台面

200X200mm

导轨

交叉滚柱导轨

驱动

直线电机

直线电机

直线电机/伺服电机

无刷无齿槽伺服电机

负载

XYAB轴负载 5kg,Z轴负载3kg

定位精度(校准后)

5um

5um

5um

8 arc sec

8 arc sec

双向重复定位精度

3um

3um

3um

6 arc sec

6 arc sec

直线度

7um

7um

7um

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平面度

7um

7um

7um

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端跳

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5um

5um

径跳

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5um

5um

XY正交性

15um

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反馈

高精度光栅尺

高精度圆光栅位置反馈

速度

500mm/s

500mm/s

100mm/s

600°/S

60°/S

控制系统

适配华中数控、西门子、新代、倍福



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