应用领域
· 干涉
· 显微术
· 纳米定位
· 生物工艺学
· 测试应用
· 半导体技术
· 光子学
· 光纤定位
适用于复杂的真空应用
压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。作时不需要润滑剂或润滑脂。不含聚合物的压电系统允许特别低的气体排放率。
PICMA 压电执行器带来出色的使用寿命
PICMA 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可以保护它们免受漏电流增加导致的潮湿和故障的影响。PICMA 执行器的使用寿命比传统聚合物绝缘执行器长十倍。1000 亿次循环无一次故障已被证明。
亚纳米分辨率，采用电容式传感器
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
零间隙弯曲导轨带来高导向精度
弯曲导轨无需维护、摩擦和磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。
通过直接位置测量实现最大精度
运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的任何影响。这可实现最佳的可重复性、出色的稳定性以及刚性、快速响应的控制。
运动 | P-621.1U | P-622.1U | P-625.1U | 公差 |
活动轴 | X | X | X | |
X 轴行程范围 | 100 微米 | 250 微米 | 500 微米 | |
X 轴行程范围，开环 | 120 微米 | 300 微米 | 600 微米 | ±20 % |
X 轴线性误差 | 0.02 % | 0.02 % | 0.03 % | typ. |
俯仰（θY 轴上的旋转串扰） | ± 3 μrad | ± 3 μrad | ± 6 μrad | typ. |
偏摆（θZ 轴上的旋转串扰） | ± 3 μrad | ± 3 μrad | ± 6 μrad | typ. |
定位 | P-621.1U 系列 | P-622.1U 系列 | P-625.1U | 公差 |
X 轴双向重复精度 | 1 纳米 | 1 纳米 | 5 纳米 | typ. |
X 轴分辨率，开环 | 0.2 纳米 | 0.4 纳米 | 0.5 纳米 | typ. |
集成传感器 | 电容式直接位置测量 | 电容式直接位置测量 | 电容式直接位置测量 | |
X 轴系统分辨率 | 0.4 纳米 | 0.7 纳米 | 1.4 纳米 | |
驱动器属性 | P-621.1U 系列 | P-622.1U 系列 | P-625.1U | 公差 |
驱动器类型 | PICMA | PICMA | PICMA | |
最大功耗 | 9 瓦 | 9 瓦 | 10 瓦 | |
X 轴中的电容 | 1.5 μF | 3.1 μF | 6.2 μF | ±20 % |
短期最大工作频率 | 267 赫兹 | 133 赫兹 | 72 赫兹 | |
机械性能 | P-621.1U 系列 | P-622.1U 系列 | P-625.1U | 公差 |
X 轴刚度 | 0.35 N/um | 0.2 N/um | 0.1 N/um | ±20 % |
谐振频率，空载 | 800 赫兹 | 400 赫兹 | 215 赫兹 | ±20 % |
谐振频率，负载为 20 g | 520 赫兹 | 340 赫兹 | 180 赫兹 | ±20 % |
谐振频率，负载为 120 g | 240 赫兹 | 185 赫兹 | 110 赫兹 | ±20 % |
允许的推力（X 轴） | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 最大值 |
Y 轴允许的推力 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 最大值 |
Z 轴允许的推力 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 最大值 |
允许的拉力（X 轴） | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 最大值 |
导向 | 带杠杆放大的弯曲导板 | 带杠杆放大的弯曲导板 | 带杠杆放大的弯曲导板 | |
总重量 | 160 克 | 200 克 | 240 克 | |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | |
杂项 | P-621.1U 系列 | P-622.1U 系列 | P-625.1U | 宽容 |
工作温度范围 | -20 至 80 °C | -20 至 80 °C | -20 至 80 °C | |
真空度 | 10-9 hPa | 10-9 hPa | 10-9 hPa | |
连接器 | D-sub 5W1 (f) | D-sub 5W1 (f) | D-sub 5W1 (f) | |
电缆长度 | 1.5 米 | 1.5 米 | 1.5 米 | |
推荐的控制器/驱动 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665、E-709、E-754 |
系统的分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制，因为 PI 压电纳米定位系统没有摩擦。
所有规格均基于室温（22 °C ±3 °C）。
P-621.1U_-_P-625.1U-Datasheet.pdf
3D图纸请联系18384107989
