P-752 高精度纳米定位平台

高动态和稳定的压电扫描仪,具有极其精确的导向 分辨率 0.1 nm 快速响应行为 行程范围可达 35 μm 电容式传感器实现最高线性度 无摩擦的弯曲导轨,可实现非常高的行程精度 得益于 PICMA® 压电陶瓷促动器的出色使用寿命
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应用领域

l扫描显微镜

l测量技术

l测试程序和质量保证

l光子学

l光纤定位

由于PICMA压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命®

PICMA 压电陶瓷促动器采用全陶瓷绝缘。这可以保护它们免受潮湿和漏电流增加导致的故障的影响。PICMA 促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长十倍。1000 亿次循环无一次故障。

采用电容式传感器的亚纳米级分辨率

电容式传感器以亚纳米级分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

零间隙弯曲导轨,导向精度高

弯曲导轨无维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚度允许高负载能力,并且对冲击和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。

自动配置和快速组件更换

机械师和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师 D-Sub 连接器的 ID 芯片中。每次打开控制器时,数字控制器上的自动校准功能都会自动使用此数据。

通过直接位置测量实现最大精度

直接在运动平台上测量运动,不受驱动或导向元件的任何影响。这可实现最佳的可重复性、出色的稳定性以及刚性、快速响应的控制。


运动

P-752.11C

P-752.1CD

P-752.21C

P-752.2CD

公差

活动轴

X

X

X

X


X 轴行程范围

15 微米

15 微米

30 微米

30 微米


行程(X),开环,-20至120 V

20 微米

20 微米

35 微米

35 微米

+20 / -0 %

X 轴线性误差

0.03 %

0.03 %

0.03 %

0.03 %

typ.

俯仰

± 1 μrad

± 1 μrad

± 1 μrad

± 1 μrad

typ.

偏摆

± 1 μrad

± 1 μrad

± 1 μrad

± 1 μrad

typ.

定位

P-752.11C

P-752.1CD

P-752.21C

P-752.2CD

公差

X 轴单向重复精度

± 1 纳米

± 1 纳米

± 2 纳米

± 2 纳米

typ.

X 轴分辨率,开环

0.1 纳米

0.1 纳米

0.2 纳米

0.2 纳米

typ.

集成传感器

电容式直接位置测量


X 轴系统分辨率

0.1 纳米

0.1 纳米

0.2 纳米

0.2 纳米


驱动器属性

P-752.11C

P-752.1CD

P-752.21C

P-752.2CD

公差

驱动器类型

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA


X 轴中的电容

2.1 μF

2.1 μF

3.7 μF

3.7 μF

±20 %

机械性能

P-752.11C

P-752.1CD

P-752.21C

P-752.2CD

公差

X 中的刚度

30 N/μm

30 N/μm

20 N/μm

20 N/μm

±20 %

谐振频率,空载

3200 赫兹

3200 赫兹

2100 赫兹

2100 赫兹

±20 %

谐振频率,负载为 300 g

980 赫兹

980 赫兹

600 赫兹

600 赫兹

±20 %

允许的推力(X 轴)

100 牛

100 牛

100 牛

100 牛

最大值

Z 轴允许的推力

30 牛

30 牛

30 牛

30 牛

最大值

允许的拉力(X 轴)

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

最大值

导向

带杠杆放大的弯曲导板


总重量

250 克

250 克

350 克

350 克

±5 %

材料


杂项

P-752.11C

P-752.1CD

P-752.21C

P-752.2CD

公差

工作温度范围

-20 至 80 °C


连接器

LEMO

D-sub 7W2(m)

LEMO

D-sub 7W2(m)


传感器连接器

LEMO


LEMO



电缆长度

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米

+50 / -0 毫米

推荐的控制器/驱动

E-505、E-610、E-625、E-754

E-505、E-610、E-625、E-754

E-505、E-610、E-625、E-754

E-505、E-610、E-625、E-754


重复性: 典型,全行程。

系统的分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制,因为 PI 压电纳米定位系统没有摩擦。