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由于 PICMA 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命®
PICMA 压电陶瓷促动器采用全陶瓷绝缘。这可以保护它们免受潮湿和漏电流增加导致的故障的影响。PICMA 促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长十倍。1000 亿次循环无一次故障。®®
采用电容式传感器的亚纳米级分辨率
电容式传感器以亚纳米级分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
零间隙弯曲导轨，导向精度高
弯曲导轨无维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。
通过直接位置测量实现最大精度
直接在运动平台上测量运动，不受驱动或导向元件的任何影响。这可实现最佳的可重复性、出色的稳定性以及刚性、快速响应的控制。
运动 | P-620.Z0L | P-620.ZCD | P-620.ZCL | P-621.Z0L | P-621.ZCD | P-621.ZCL | P-622.Z0L | P-622.ZCD | P-622.ZCL | 公差 |
活动轴 | Z | Z | Z | Z | Z | Z | Z | Z | Z | |
Z轴行程，开环 | 65 微米 | 65 微米 | 65 微米 | 140 微米 | 140 微米 | 140 微米 | 350 微米 | 350 微米 | 350 微米 | ±20 % |
偏摆（ | ±80μrad | ±80μrad | ±80μrad | ±100μrad | ±100μrad | ±100μrad | ±200μrad | ±200μrad | ±200μrad | typ. |
俯仰 | ±80μrad | ±80μrad | ±80μrad | ±100μrad | ±100μrad | ±100μrad | ±200μrad | ±200μrad | ±200μrad | typ. |
Z 轴行程范围 | 50 微米 | 50 微米 | 100 微米 | 100 微米 | 250 微米 | 250 微米 | ||||
Z 轴线性误差 | 0.02 % | 0.02 % | 0.02 % | 0.02 % | 0.02 % | 0.02 % | typ. | |||
定位 | P-620.Z0L | P-620.ZCD | P-620.ZCL | P-621.Z0L | P-621.ZCD | P-621.ZCL | P-622.Z0L | P-622.ZCD | P-622.ZCL | 公差 |
Z轴分辨率，开环 | 0.1 纳米 | 0.1 纳米 | 0.1 纳米 | 0.2 纳米 | 0.2 纳米 | 0.2 纳米 | 0.5 纳米 | 0.5 纳米 | 0.5 纳米 | typ. |
Z轴双向重复性 | 1 纳米 | 1 纳米 | 1 纳米 | 1 纳米 | 1 纳米 | 1 纳米 | typ. | |||
集成传感器 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | ||||
Z 轴系统分辨率 | 0.2 纳米 | 0.2 纳米 | 0.3 纳米 | 0.3 纳米 | 1 纳米 | 1 纳米 | ||||
驱动器属性 | P-620.Z0L | P-620.ZCD | P-620.ZCL | P-621.Z0L | P-621.ZCD | P-621.ZCL | P-622.Z0L | P-622.ZCD | P-622.ZCL | 公差 |
驱动器类型 | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | PICMA | |
最大功耗 | 5 瓦 | 5 瓦 | 5 瓦 | 18 瓦 | 18 瓦 | 18 瓦 | 17 瓦 | 17 瓦 | 17 瓦 | |
Z 轴电容 | 0.7 μF | 0.7 μF | 0.7 μF | 3 μF | 3 μF | 3 μF | 6.2 μF | 6.2 μF | 6.2 μF | ±20 % |
短期最大工作频率 | 333 赫兹 | 333 赫兹 | 333 赫兹 | 263 赫兹 | 263 赫兹 | 263 赫兹 | 120 赫兹 | 120 赫兹 | 120 赫兹 | |
机械性能 | P-620.Z0L | P-620.ZCD | P-620.ZCL | P-621.Z0L | P-621.ZCD | P-621.ZCL | P-622.Z0L | P-622.ZCD | P-622.ZCL | 公差 |
Z 轴刚度 | 0.5 N/um | 0.5N/um | 0.5 N/um | 0.6 N/um | 0.6 N/um | 0.6 N/um | 0.24 N/um | 0.24 N/um | 0.24 N/um | ±20 % |
谐振频率，空载 | 1000 赫兹 | 1000 赫兹 | 1000 赫兹 | 790 赫兹 | 790 赫兹 | 790 赫兹 | 360 赫兹 | 360 赫兹 | 360 赫兹 | ±20 % |
谐振频率,负载30g | 690 赫兹 | 690 赫兹 | 690 赫兹 | 500 赫兹 | 500 赫兹 | 500 赫兹 | 270 赫兹 | 270 赫兹 | 270 赫兹 | ±20 % |
Y 轴允许的推力 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 最大值 |
Z 轴允许的推力 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 10 牛 | 最大值 |
Z 轴允许拉力 | 5 牛 | 5 牛 | 5 牛 | 8 牛 | 8 牛 | 8 牛 | 8 牛 | 8 牛 | 8 牛 | 最大值 |
导向 | 带杠杆放大的弯曲导板 | |||||||||
总重量 | 120 克 | 120 克 | 120 克 | 170 克 | 170 克 | 170 克 | 240 克 | 240 克 | 240 克 | |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | |
杂项 | P-620.Z0L | P-620.ZCD | P-620.ZCL | P-621.Z0L | P-621.ZCD | P-621.ZCL | P-622.Z0L | P-622.ZCD | P-622.ZCL | 公差 |
工作温度范围 | -20 至 150 °C | |||||||||
连接器 | LEMO | D-sub 7W2(m) | LEMO | LEMO | D-sub 7W2(m) | LEMO | LEMO | D-sub 7W2(m) | LEMO | |
电缆长度 | 1.5 米 | 1.5 米 | 1.5 米 | 1.5 米 | 1.5 米 | 1.5 米 | 1.5 米 | 1.5 米 | 1.5 米 | |
推荐的控制器/驱动程序 | E-503、E-505、E-610 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-503、E-505、E-610 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-503、E-505、E-610 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754 | |
系统的分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制，因为 PI 压电纳米定位系统没有摩擦。
所有规格均基于室温（22 °C ±3 °C）。
3D图纸请联系18384107989
