18384107989
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P-620.1 • P-629.1 PIHera 线性精密定位器

可变行程范围和轴配置 行程范围 50 至 1800 μm 分辨率达 0.1 nm 线性误差 0.02 % X、XY、Z 版本;可进行 XYZ 组合
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应用领域

l 干涉

l 显微术

l 纳米定位

l 生物工艺学

l 测试应用程序

l 半导体技术

l 光子学

l 光纤定位

由于 PICMA 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命®

PICMA 压电陶瓷促动器采用全陶瓷绝缘。这可以保护它们免受潮湿和漏电流增加导致的故障的影响。PICMA 促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长十倍。1000 亿次循环无一次故障。

采用电容式传感器的亚纳米级分辨率

电容式传感器以亚纳米级分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

零间隙弯曲导轨，导向精度高

弯曲导轨无维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。

通过直接位置测量实现最大精度

直接在运动平台上测量运动，不受驱动或导向元件的任何影响。这可实现最佳的可重复性、出色的稳定性以及刚性、快速响应的控制。


运动

P-620.10L

P-620.1CD

P-620.1CL

P-621.10L

P-621.1CD

P-621.1CL

P-622.10L

P-622.1CD

P-622.1CL

公差

活动轴

X

X

X

X

X

X

X

X

X


X 轴行程，开环

60 微米

60 微米

60 微米

120微米

120微米

120微米

300微米

300微米

300微米

±20 %

俯仰

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

typ.

偏摆

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

±3μrad

typ.

X 轴行程范围


50 微米

50 微米


100微米

100微米


250微米

250微米


X 轴线性误差


0.02 %

0.02 %


0.02 %

0.02 %


0.02 %

0.02 %

typ.

定位

P-620.10L

P-620.1CD

P-620.1CL

P-621.10L

P-621.1CD

P-621.1CL

P-622.10L

P-622.1CD

P-622.1CL

公差

X 轴分辨率，开环

0.1纳米

0.1纳米

0.1纳米

0.2纳米

0.2纳米

0.2纳米

0.4纳米

0.4纳米

0.4纳米

typ.

X 轴双向重复精度


1 纳米

1 纳米


1 纳米

1 纳米


1 纳米

1 纳米

typ.

集成传感器


电容式

电容式


电容式

电容式


电容式

电容式


X 轴系统分辨率


0.2纳米

0.2纳米


0.4纳米

0.4纳米


0.7纳米

0.7纳米


驱动器属性

P-620.10L

P-620.1CD

P-620.1CL

P-621.10L

P-621.1CD

P-621.1CL

P-622.10L

P-622.1CD

P-622.1CL

公差

驱动器类型

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA


最大功耗

3 瓦

3 瓦

3 瓦

9 瓦

9 瓦

9 瓦

9 瓦

9 瓦

9 瓦


X 轴中的电容

0.35μF

0.35μF

0.35μF

1.5 μF

1.5 μF

1.5 μF

3.1 μF

3.1 μF

3.1 μF

±20 %

短期最大工作频率

367赫兹

367赫兹

367赫兹

267赫兹

267赫兹

267赫兹

133赫兹

133赫兹

133赫兹


机械性能

P-620.10L

P-620.1CD

P-620.1CL

P-621.10L

P-621.1CD

P-621.1CL

P-622.10L

P-622.1CD

P-622.1CL

公差

X 轴刚度 (N/um）

0.42

0.42

0.42

0.35

0.35

0.35

0.2

0.2

0.2

±20 %

谐振频率，空载

1100 赫兹

1100 赫兹

1100 赫兹

800 赫兹

800 赫兹

800 赫兹

400 赫兹

400 赫兹

400 赫兹

±20 %

谐振频率，负载20 g

550 赫兹

550 赫兹

550 赫兹

520 赫兹

520 赫兹

520 赫兹

340 赫兹

340 赫兹

340 赫兹

±20 %

谐振频率，负载 120 g

260 赫兹

260 赫兹

260 赫兹

240 赫兹

240 赫兹

240 赫兹

185 赫兹

185 赫兹

185 赫兹

±20 %

允许的推力（X 轴）

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

最大

Y 轴允许的推力

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

最大

Z 轴允许的推力

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

最大

允许的拉力（X 轴）

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

最大

导向

带杠杆放大的弯曲导板


总重量

110 克

110 克

110 克

160 克

160 克

160 克

200 克

200 克

200 克


材料

铝

铝

铝

铝

铝

铝

铝

铝

铝


杂项

P-620.10L

P-620.1CD

P-620.1CL

P-621.10L

P-621.1CD

P-621.1CL

P-622.10L

P-622.1CD

P-622.1CL

公差

工作温度范围

-20 至 150 °C


连接器

LEMO LVPZT

D-sub7W2（m）

LEMO LVPZT

LEMO LVPZT

D-sub7W2（m）

LEMO LVPZT

LEMO LVPZT

D-sub7W2（m）

LEMO LVPZT


电缆长度

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米


推荐的控制器/驱动

E-503、E-505、E-610、E-665

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754

E-503、E-505、E-610、E-665

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754

E-503、E-505、E-610、E-665

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754


运动

P-625.10L

P-625.1CD

P-625.1CL

P-628.10L

P-628.1CD

P-628.1CL

P-629.10L

P-629.1CD

P-629.1CL

公差

活动轴

X

X

X

X

X

X

X

X

X


X 轴行程范围，开环

600微米

600微米

600微米

950微米

950微米

950微米

1800微米

1800微米

1800微米

±20%

俯仰

± 6μrad

± 6μrad

± 6μrad

± 6μrad

± 6μrad

± 6μrad

±30μrad

±30μrad

±30μrad

typ.

偏摆

± 6μrad

± 6μrad

± 6μrad

± 6μrad

± 6μrad

± 6μrad

±10μrad

±10μrad

±10μrad

typ.

X 轴行程范围


500 微米

500 微米


800 微米

800 微米


1500 微米

1500 微米


X 轴线性误差


0.03 %

0.03 %


0.03 %

0.03 %


0.03 %

0.03 %

typ.

定位

P-625.10L

P-625.1CD

P-625.1CL

P-628.10L

P-628.1CD

P-628.1CL

P-629.10L

P-629.1CD

P-629.1CL

公差

X 轴分辨率，开环

0.5 纳米

0.5 纳米

0.5 纳米

0.5 纳米

0.5 纳米

0.5 纳米

2 纳米

2 纳米

2 纳米

typ.

X 轴双向重复精度


5 纳米

5 纳米


10 纳米

10 纳米


14 纳米

14 纳米

typ.

集成传感器


电容式

电容式


电容式

电容式


电容式

电容式


X 轴系统分辨率


1.4 纳米

1.4 纳米


1.8 纳米

1.8 纳米


3 纳米

3 纳米


驱动器属性

P-625.10L

P-625.1CD

P-625.1CL

P-628.10L

P-628.1CD

P-628.1CL

P-629.10L

P-629.1CD

P-629.1CL

公差

驱动器类型

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA

PICMA


最大功耗

10 瓦

10 瓦

10 瓦

18 瓦

18 瓦

18 瓦

49 瓦

49 瓦

49 瓦


X 轴中的电容

6.2 μF

6.2 μF

6.2 μF

19 μF

19 μF

19 μF

52 μF

52 μF

52 μF

±20%

短期最大工作频率

72 赫兹

72 赫兹

72 赫兹

42 赫兹

42 赫兹

42 赫兹

42 赫兹

42 赫兹

42 赫兹


机械性能

P-625.10L

P-625.1CD

P-625.1CL

P-628.10L

P-628.1CD

P-628.1CL

P-629.10L

P-629.1CD

P-629.1CL

公差

X 轴刚度(N/um)

0.1

0.1

0.1

0.12

0.12

0.12

0.13

0.13

0.13

±20%

谐振频率（X轴），空载

215 赫兹

215 赫兹

215 赫兹

125 赫兹

125 赫兹

125 赫兹

125 赫兹

125 赫兹

125 赫兹

±20%

谐振频率，负载20 g

180 赫兹

180 赫兹

180 赫兹

115 赫兹

115 赫兹

115 赫兹

120 赫兹

120 赫兹

120 赫兹

±20%

谐振频率，负载120 g

110 赫兹

110 赫兹

110 赫兹

90 赫兹

90 赫兹

90 赫兹

110 赫兹

110 赫兹

110 赫兹

±20%

允许的推力（X 轴）

10 牛

最大

Y 轴允许的推力

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

10 牛

8 牛

8 牛

8 牛

最大

Z 轴允许的推力

10 牛

最大

允许的拉力（X 轴）

10 牛

最大

导向

带杠杆放大的弯曲导板


总重量

240 克

240 克

240 克

380 克

380 克

380 克

720 克

720 克

720 克


材料

铝


杂项

P-625.10L

P-625.1CD

P-625.1CL

P-628.10L

P-628.1CD

P-628.1CL

P-629.10L

P-629.1CD

P-629.1CL

公差

工作温度范围

-20至 150 °C


连接器

LEMO LVPZT

D-sub7W2（m）

LEMO LVPZT

LEMO LVPZT

D-sub7W2（m）

LEMO LVPZT

LEMO LVPZT

D-sub7W2（m）

LEMO LVPZT


电缆长度

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米

1.5 米


推荐的控制器/驱动

E-503、E-505、E-610、E-665

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754

E-503、E-505、E-610、E-665

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754

E-503、E-505、E-610、E-665

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-709.1C1L、E-754


P-628.1CD / P-628.1CL： 使用数字控制器时，X 线性误差为 0.03 %（典型值）。带模拟控制器 0.05 %。

P-629.1CD / P-629.1CL： 使用数字控制器时，X 轴线性误差（典型值）为 0.03 %。带模拟控制器 0.08 %。

系统的分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制，因为 PI 压电纳米定位系统没有摩擦。

真空版本至 10 个-9hPa 的订单号为 P-62x.1U。

所有规格均基于室温（22 °C ±3 °C）。

系统的分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制，因为 PI 压电纳米定位系统没有摩擦。

所有规格均基于室温（22 °C ±3 °C）。