线性压电柔性铰链平台

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  P-620.Z - P-622.Z PIHeraZ轴精密定位器

  行程50 μm至250μm，分辨率 0.1 nm，X、XY、Z、XYZ 版本

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  P-752 高精度纳米定位平台

  高动态和稳定的压电扫描仪，具有极其精确的导向 分辨率 0.1 nm 行程可达 35 μm

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  P-753 LISA 线性执行器和定位平台

  高动态且位置稳定行程范围可达 38 μm分辨率 0.1 nm

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  P-621.1U • P-625.1U PIHera 线性精密定位器

  行程100 至 500 μm（600 μm 开环）UHV兼容10-9百帕

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  P-620.1 • P-629.1 PIHera 线性精密定位器

  行程 50至1800 μm，分辨率 0.1 nm，X、XY、Z 版本;可进行 XYZ 组合

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