六轴定位系统

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  H-811.I2 微型六轴六足位移台

  负载 1.5kg 直径136 高度114mm

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  HEX150-125HL 微型六足位移台

  负载5kg 直径150mm 高度125mm

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  HEX150-140HL 微型六足位移台

  负载：7.2kg，直径：150mm 高度141mm

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  H-824 Hexapod六足位移台

  负载10kg，尺寸：直径281mm 高190mm

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  H-825 Hexapod六足位移台

  负载30kg，尺寸：直径320mm 高195mm

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  HexGen HEX300-230HL 六足位移台

  负载45kg，尺寸：直径300mm高230mm

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  超高真空六足位移台

  超高真空10-10mbar，负载10KG，最优5nm步进

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  HexGen HEX500-350HL 六足位移台

  负载165kg，尺寸：直径500mm高350mm

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