描述
基于六个纳米步进促动器。因此，具有纳米分辨率、无间隙和亚微米稳定性（一劳永逸）。与传统的滚珠轴承概念相比，通过使用弹性枢轴，消除了典型的释气和污染、润滑和磨损源。这使得这款 HexaPod 成为超高真空环境的理想选择。采用绝对值编码器即使在断电/开机循环后也能提供平台的准确位置，不需要进项回原点。特点
▪兼容 UHV（完全密封的弹性铰链）▪包括 6 个 UHV 纳米步进促动器
▪无污染（无颗粒产生）
▪纳米分辨率
▪绝对定位
▪推挽负载能力
▪无间隙
▪自锁（一劳永逸）
▪适用于恶劣环境
