HEX150-140HL 微型六足位移台

我们的 HexGen® HEX150-140HL 在紧凑而坚固的平台中提供一致且可靠的六自由度 (DOF) 运动。您将受益于超精细的定位分辨率、充足的有效载荷能力、高过程吞吐量等。HEX150-140HL 与我们强大的运动控制器提供灵活的集成和直观的作,使其成为在可用空间有限时需要复杂多自由度运动的应用的完美选择。
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设计特点

提供紧凑的尺寸和充足的活动范围,以便简单地集成到复杂的应用中

支持高达 7.5 kg 的高有效载荷,并抵抗 100 N 的反向驱动

提供行业领先的最小增量运动,最大增量运动到20 nm(XYZ)和0.04角秒(θ)xθyθz

使用我们的控制器与其他运动轴(伺服、步进、压电等)进行协调

提供简单、方便的枢轴点调整

与强大的控制和可视化软件配对


关键应用

HEX150-140HL 非常适合解决需要精细定位分辨率的空间受限、多自由度应用,包括:

光子器件作、对准和封装

光学检查和对准

光学晶圆探测

航空航天和卫星传感器测试

同步加速器和光束线样品作


高级结构设计

HEX150-140HL 由六个高分辨率支柱驱动,该支柱由精密轴承、滚珠丝杠和驱动部件构成。每个支柱都由专门设计的无刷伺服电机驱动,该电机直接连接到滚珠丝杠。与其他依赖有刷伺服电机或粘滑压电致动器、皮带、齿轮箱和柔性联轴器的六足位移台不同,我们的六足位移台提供更高的驱动刚度、卓越的最小增量运动、更高的速度和有效载荷能力,以及更长的设备使用寿命,以及一致、可靠的性能。


集成灵活性

HEX150-140HL 体积小巧,即使在最狭窄的作环境中也能轻松集成,同时优化您的灵活性和定制选项。平台和底座可以通过用户特定的功能或安装模式轻松修改。HEX150-140HL 在平台和底座上具有直径为 35 mm 的通光孔径,允许多方向进入工件,并为您可能需要的任何其他电缆和软管的布线提供空间。


强大的控件和软件

HEX150-140HL 与我们屡获殊荣的运动控制器完美配对。基于多年复杂运动学应用的经验,我们的控制器允许在多个用户定义的坐标系中对六足位移台进行简单的编程和使用——所有这些都具有直观的界面和可用的实时运动可视化。除了控制六足位移台外,我们先进的控制器还可以从统一平台轻松驱动和协调各种运动轴,包括伺服平台、步进电机、压电纳米定位器、激光扫描头等。此外,我们免费的 HexGen™ 选型软件使您能够轻松模拟六足位移台的可用行程和工作空间。



HEX150-140HL - X轴

HEX150-140HL - Y轴

HEX150-140HL - Z轴

HEX150-140HL - A (θx)轴

HEX150-140HL - B (θy)轴

HEX150-140HL - C (θz)轴

X

Y

Z

Aθx)

B(θy)

C(θz)

行程(1)

40 毫米

16 毫米

16 度

40 度

分辨率 (最小增量运动)

20 纳米

0.04 角秒

双向重复性,pk-pk(2)(3)

±1.5 微米

±0.4 微米

±3 角秒

单向重复性,pk-pk

±0.75 微米

±0.15 微米

±1.5 角秒

最大速度(4)

20 毫米/秒

8 毫米/秒

10 度/秒

30 度/秒

负载能力,所有位置 - 垂直(5)

7.5 千克

负载能力,所有位置 - 水平(5)

2 公斤

保持容量,断电(6)

10 千克

质量

2.3 千克

材料

阳极氧化铝平台和底座;用于接头和支柱内部的钢材

注意

1. 行程是互斥的。请咨询我们的 HexGen Hexapod Sizer 了解详细的工作空间尺寸调整。

2. 在移动平台上方 50 mm 的高度处通过单轴移动进行测量。结果可能因加载条件和工作点位置而异。

3. X、Y、Z 性能认证为标准。

4. 需要选择具有足够电压和电流的适当放大器。

5. 居中载荷 - 请查阅载荷曲线。如果有效负载超过已发布值,请联系 18384107989。

6. 水平底板,居中加载 – 请参阅负载曲线。