S-330 压电快反镜

机械倾斜角度可达 10 mrad 高达 1.6 kHz(1 英寸反射镜)的高谐振频率,用于动态运动和快速步进稳定 分辨率为 20 nrad 出色的位置稳定性 亚毫秒级响应时间 适用于直径达 50 mm 的镜子
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应用领域


· 图像处理 / 稳定

· 光捕获

· 激光扫描/光束偏转

· 激光调谐

· 滤光片/开关

· 光学

· 光束稳定


得益于 PICMA 压电陶瓷促动器的出色使用寿命®


PICMA 压电陶瓷促动器采用全陶瓷绝缘。这可以保护它们免受潮湿和漏电流增加导致的故障的影响。PICMA 促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长十倍。1000 亿次循环无一次故障。


零间隙弯曲导轨,导向精度高


弯曲导轨无维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚度允许高负载能力,并且对冲击和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。


通过并联运动实现高动态多轴作


在并联运动多轴系统中,所有促动器都作用在一个公共平台上。最小的质量惯性和所有轴的相同设计允许快速、动态和精确的运动。


运动

S-330.2SH

S-330.2SL

 S-330.4SH

S-330.4SL

S-330.8SH

S-330.8SL

公差

活动轴

θX ǀ θY

θX ǀ θY

θX ǀ θY

θX ǀ θY

θX ǀ θY

θX ǀ θY


旋转范围 θX)

2 mrad

2 mrad

5 mrad

5 mrad

10 mrad

10 mrad


旋转范围(θY )

2 mrad

2 mrad

5 mrad

5 mrad

10 mrad

10 mrad


旋转范围(θX),开环

3.5 mrad

3.5 mrad

7 mrad

7 mrad

15 mrad

15 mrad

±20 %

旋转范围(θY),开环

3.5 mrad

3.5 mrad

7 mrad

7 mrad

15 mrad

15 mrad

±20 %

θX 线性误差

0.05 %

0.05 %

0.1 %

0.1 %

0.1 %

0.1 %

typ.

θY 线性误差

0.05 %

0.05 %

0.1 %

0.1 %

0.1 %

0.1 %

typ.

定位

S-330.2SH

S-330.2SL

 S-330.4SH

S-330.4SL

S-330.8SH

S-330.8SL

公差

θX 的单向重复性

±0.6 μrad

±0.6μrad

±0.8 μrad

±0.8 μrad

±1.5 μrad

±1.5 μrad

typ.

θY 的单向重复性

±0.6μrad

±0.6μrad

±0.8 μrad

±0.8 μrad

±1.5 μrad

±1.5 μrad

typ.

θX分辨率,开环

0.02 μrad

0.02 μrad

0.1 μrad

0.1 μrad

0.2 μrad

0.2 μrad

typ.

θY分辨率,开环

0.02 μrad

0.02 μrad

0.1 μrad

0.1 μrad

0.2 μrad

0.2 μrad

typ.

集成传感器

SGS

间接位置测量

SGS

间接位置测量

SGS

间接位置测量

SGS

间接位置测量

SGS

间接位置测量

SGS

间接位置测量


系统分辨率(θX)

0.05μrad

0.05μrad

0.25 μrad

0.25 μrad

0.5μrad

0.5μrad


系统分辨率(θY)

0.05μrad

0.05μrad

0.25 μrad

0.25 μrad

0.5μrad

0.5μrad


驱动器属性

S-330.2SH

S-330.2SL

 S-330.4SH

S-330.4SL

S-330.8SH

S-330.8SL

公差

驱动类型

PICMA®

PICMA®

PICMA®

PICMA®

PICMA®

PICMA®


电容(θX)uF

3

3

6

6

12.5

12.5

±20 %

电容(θY)uF

3

3

6

6

12.5

12.5

±20 %

机械性能

S-330.2SH

S-330.2SL

 S-330.4SH

S-330.4SL

S-330.8SH

S-330.8SL

公差

谐振频率(θX),空载

2.4 kHz

2.4 kHz

2 kHz

2 kHz

1 kHz

1 kHz

±20 %

谐振频率θX,在玻璃镜负载下(直径 25 毫米;厚度 8 毫米)

1.6 kHz

1.6 kHz

1.5 kHz

1.5 kHz

1 kHz

1 kHz

±20 %

谐振频率(θY),空载

2.4 kHz

2.4 kHz

2 kHz

2 kHz

1 kHz

1 kHz

±20 %

谐振频率θY ,在玻璃镜负载下(直径 25 毫米;厚度 8 毫米)

1.6 kHz

1.6 kHz

1.5 kHz

1.5 kHz

1 kHz

1 kHz

±20 %

空载时θX惯量

1530 g·mm²

1530 g·mm²

1530 g·mm²

1530 g·mm²

1530 g·mm²

1530 g·mm²

±20 %

空载时θY惯量

1530 g·mm²

1530 g·mm²

1530 g·mm²

1530 g·mm²

1530 g·mm²

1530 g·mm²

±20 %

枢轴点到平台表面的距离

6.5 毫米

6.5 毫米

6.5 毫米

6.5 毫米

6.5 毫米

6.5 毫米

±0.1毫米

导向

带杠杆放大的弯曲导轨

带杠杆放大的弯曲导轨

带杠杆放大的弯曲导轨

带杠杆放大的弯曲导轨

带杠杆放大的弯曲导轨

带杠杆放大的弯曲导轨


总质量

200 克

200 克

380 克

380 克

700 克

700 克

±5 %

材料

外壳:钢。平台:殷钢。

外壳:钢。平台:殷钢。

外壳:钢。平台:殷钢。

外壳:钢。平台:殷钢。

外壳:钢。平台:殷钢。

外壳:钢。平台:殷钢。


其他

S-330.2SH

S-330.2SL

 S-330.4SH

S-330.4SL

S-330.8SH

S-330.8SL

公差

工作温度范围

-20 至80 °C

-20 至80 °C

-20 至80 °C

-20 至80 °C

-20 至80 °C

-20 至80 °C


电缆长度

2 米

2 米

2 米

2 米

2 米

2 米

+50 / -0 mm

SH版本 的是D-sub 37 (m)接头,SL版本的是lemo接头。

 

线性度误差:S-330.xSH 与数字控制器结合使用。

单向重复性:在 100% tip/tilt角度下。S-330.xSH 与数字控制器结合使用。

系统的分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制,因为 PI 压电纳米定位系统没有摩擦。

可根据要求提供不带传感器的型号。

PI,技术数据规定为 22 ±3 °C。 除非另有说明,否则这些值适用于卸载条件。有些属性是相互依赖的。名称典型表示财产的统计平均值;它并不表示所提供每种产品的保证值。在对产品进行最终检查时,仅分析选定的属性,而不是全部。请注意,某些产品特性可能会随着运行时间的增加而恶化。

 

csm_S-330_KUZ_01_S-330.xSH_FILE-001483769_b150.tif_Bilder-Web_1ff082bb41.pngcsm_S-330_KUZ_02_S-330.xSL_FILE-001494556.tif_Bilder-Web_2044444203.png